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产品详情

美国KLA-Tencor AlphaStep台阶仪 膜厚仪 探针接触式轮廓仪

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  • 产品名称:美国KLA-Tencor AlphaStep台阶仪 膜厚仪 探针接触式轮廓仪
  • 产品型号:D-300
  • 产品展商:KLA-Tencor
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简单介绍

美国KLA-Tencor AlphaStep台阶仪 膜厚仪 探针接触式轮廓仪 D-300,它广泛应用于太阳能薄膜材料、半导体硅片、微电子器件、薄膜化学涂层、平板显示器等研究领域。在新型薄膜材料的开发研究工作上极为重要。美国KLA-Tencor AlphaStep台阶仪 膜厚仪 探针接触式轮廓仪垂直分辨率: 0.38A

产品描述

台阶仪的工作原理。台阶仪主要的工作就是测量,当台阶仪的触针在被测的物体表面轻轻滑过时,被接触的物体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此表面轮廓的情况在一定程度上就被触针的运动情况所体现出来。当输出的信号经过测量的电桥之后,输出的信号与触针的平衡位子的位移此刻成正比,调幅的信号也就随之出现,经过放大和整流之后,位移信号就从调幅信号中解调出来了,信号就变得相应缓慢,半导体厚度测试台阶仪,也就能在控制器中被读出来。随之噪音滤波器以及波度滤波器会对调制频率以及外界的干扰信号等因素进行进一步的过滤,误差所带来的影响也随之减小。


典型应用:太阳能电池、太阳能集热器等 PVD(物理 气相沉积)太阳能涂层研究,对薄膜材料常规性能的检测台阶膜厚仪

它广泛应用于太阳能薄膜材料、半导体硅片、微电子器件、薄膜化学涂层、平板显示器等研究领域。在新型薄膜材料的开发研究工作上极为重要。

美国KLA-Tencor公司

在四十年来半导体及相关产业发展中,KLA-Tencor作为工艺控制领域的行业领跑者,借助**的光学技术、精准的传感器系统以及高性能计算机信息处理技术,持续研发并不断完善检测、量测设备及数据智能分析系统。

生产,品牌AlphaStep,型号 D-300台阶仪

主要产品特性:

1)垂直分辨率: 0.38A

2) Z测量重复精度:保证5A重复性(1um台阶标样,无需防震台,用2um探针验收)

3)扫描时*小正压力: 0.5mg (软件可编程选择和自动控制,无需手动)

4)采样点数400,000

5)探针曲率半径2微米

6)有KLA-Tencor标定证书的1um标样一块

7)斜视光学系统,500万像素彩色摄像头Keystone图像纠正

8)系统配有150x150mm口径的超大超厚超光滑平晶

9)具有双向扫描测量的功能

 

更多技术参数欢迎来电及提供样品测试服务。

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