上海玖析科学仪器有限公司 主营:实验室基础科学仪器、理化仪器、分析仪器、环保仪器、测量仪器和耗材
服务电话
13801650326
所在位置:
联系方式CONTACT US
产品详情

三维表面测量仪/三维表面形貌仪NanoFocus2000(纳米级)

  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:三维表面测量仪/三维表面形貌仪NanoFocus2000(纳米级)
  • 产品型号:NanoFocus2000
  • 产品展商:美国3V
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍

三维表面测量仪/三维表面形貌仪NanoFocus2000(纳米级)是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款检测设备,;三维表面测量仪/三维表面形貌仪NanoFocus2000(纳米级)测量精度重复性达到世界较高水平;关键硬件采用美国、德国、日本等;配备进口第三方校准标准件 高性价比微观形貌测量设备;迅捷、高效的上等售后服务

产品描述

三维表面形貌仪 采用了上等光学系统,可通过非破坏观察法生产高画质的图像并进行**的3D测量,可以满足不同样品的观测需求

 

NanoFocus2000三维表面测量仪光学轮廓仪/三维表面形貌仪/三维表面轮廓仪(纳米级)是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款检测设备

采用垂直扫描白光干涉和移相干涉技术,实现对样品表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征的纳米级三维精密测量。广泛应用于半导体工艺、航空航天、太阳能电池工艺、材料表面工程、MEMS、超精密加工等领域。


三维表面测量仪/三维表面形貌仪NanoFocus2000(纳米级) 产品特点:

测量精度重复性达到世界较高水平

关键硬件采用美国、德国、日本等

配备进口第三方校准标准件

高性价比微观形貌测量设备

迅捷、高效的上等售后服务

 

覆盖范围广

兼容多种测量和观察需求

保护性

非接触式光学干涉测量

可操作性

“一键式”操作更简单、高效

智能化

特殊形状智能计算特征参数

个性化

定制化测试报告

 

NanoFocus2000三维表面微观形貌检测仪主要由精密载物台、照明系统、光学干涉成像系统、实现移相运动的微位移系统、图像采集系统及图像数据处理系统等组成。整个检测仪放置在气浮抗振平台上。载物台用于安放被测件,同时通过倾斜和XY二维平移调整使被测面**定位于感兴趣的区域;光源及照明系统提供给被测面均匀又充分的反射式照明;干涉成像系统采用Mirau干涉物镜结构获取被测表面干涉图像;采用压电陶瓷传感器(PZT)实现微位移控制;通过CCD与自主开发的软件系统采集并处理干涉图像,获得被测面的相位信息进而得到表面轮廓。

 

应用领域:半导体工艺、MEMS器件表征、精密机械加工、LED、太阳能、生物医学等。

 

三维表面测量仪/三维表面形貌仪NanoFocus2000(纳米级) 主要指标:

    CCD分辨率:像素1280x960

    测试模式:PSI + VSI 检测模式

    纵向分辨率:<0.1nm 

    RMS重复性:<0.01nm

    台阶测量:准确度≤0.75

    台阶高重复性≤0.1%,

    高清晰无限远成像系统,白光高效LED,光谱滤光

    Nikon干涉物镜配置2.5x5x10x20x50x

    200mm手动样品台 (XY高精度)+ 倾斜±

 

三维表面测量仪/三维表面形貌仪NanoFocus2000(纳米级) 分析及控制软件:

    三维分析处理迅速,结果实时更新

    缩放、定位、平移、旋转等三维图像显示

    自主设定测量阈值,三维处理自动标注

    测量模式可根据需求自由切换

    可创建简单工作流程,简化重复工作

    三维图像支持高清打印

    可进行软件在线升级和远程支持服务

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!
Copyright@ 2003-2019  上海玖析科学仪器有限公司版权所有      电话:13801650326 传真:021-63290084 地址:北京东路505号 邮编:
沪ICP备16040471号-1

沪公网安备 31011702004213号